Mashruuca 909 ee Miisaanka Aad u Weyn ee Isku-dhafan ee Warshada Wareega waa mashruuc dhisme oo weyn oo ka mid ah warshadaha elektiroonigga ah ee dalkayga inta lagu jiro Qorshaha Shanta Sano ee Sagaalaad si loo soo saaro jajabyo leh ballac xariif ah oo ah 0.18 microns iyo dhexroor 200 mm ah.
Tiknoolajiyada wax soo saarka ee wareegyada isku dhafan ee aadka u ballaaran ma aha oo kaliya inay ku lug leeyihiin teknoolajiyada saxda ah ee saxda ah sida mashiinka-yar-yar, laakiin sidoo kale waxay dhigaysaa shuruudo sare oo nadiif ah gaaska.
Sahayda gaaska badan ee mashruuca 909 waxaa bixiya shirkad ay iska kaashadeen Praxair Utility Gas Co., Ltd. ee Maraykanka iyo dhinacyada ay khusayso ee Shanghai si ay si wadajir ah u dhisaan warshad gaaska. dhismaha, oo daboolaya aag ah qiyaastii 15,000 mitir oo laba jibbaaran. Shuruudaha nadiifinta iyo soo saarista gaasaska kala duwan
Nayroojiin nadiif ah oo sarreeya (PN2), nitrogen (N2), iyo ogsijiin saafi ah (PO2) ayaa lagu soo saaraa kala-soocidda hawada. Haydarojiin nadiif ah oo sarreeya (PH2) waxa soo saara korontolaysiis. Argon (Ar) iyo helium (He) ayaa laga soo iibsadaa dibadda. Gaaska-quasi-ga waa la sifeeyay oo la sifeeyay si loogu isticmaalo Mashruuca 909. Gaaska gaarka ah waxaa lagu bixiyaa dhalooyin, kabadhka dhalada gaasku wuxuu ku yaalaa aqoon-is-weydaarsiga caawinta ee warshadda soosaarka wareegga isku dhafan.
Gaasaska kale waxa ka mid ah nidaamka CDA hawo cufan oo nadiif ah, oo leh mugga isticmaalka 4185m3/h, barta sayaxa cadaadiska ee -70°C, iyo cabbirka walxaha aan ka badnayn 0.01um ee gaaska barta isticmaalka. Neefsashada hawada cufan (BA) nidaamka, isticmaalka mugga 90m3 / h, cadaadis dhibic sayaxa 2 ℃, size qayb gaaska barta isticmaalka ma ka weyn yahay 0.3um, nidaamka vacuum (PV) nidaamka, mugga isticmaalka 582m3 / h, shahaado vacuum barta isticmaalka -79993Pa. Nadiifinta vacuum (HV), mugga isticmaalka 1440m3 / h, shahaadada faakuumka ee barta isticmaalka -59995 Pa. Qolka kombaresarada hawada iyo qolka bamka vacuum waxay labaduba ku yaalaan aagga warshadda 909.
Xulashada alaabta tuubada iyo qalabka
Gaaska loo isticmaalo soosaarka VLSI wuxuu leeyahay shuruudo nadaafadeed oo aad u sarreeya.Dhuumaha gaasta nadiifka ah ee sarreeyainta badan waxaa loo isticmaalaa jawi wax soo saar nadiif ah, iyo xakamaynta nadaafadooda waa in ay la socotaa ama ka sareysa heerka nadaafadda ee goobta la isticmaalo! Intaa waxaa dheer, dhuumaha gaaska saafiga ah ee saafiga ah ayaa inta badan loo isticmaalaa goobaha wax soo saarka nadiifka ah. Haydarojiin saafi ah (PH2), ogsijiin saafi ah oo saafi ah (PO2) iyo qaar ka mid ah gaasaska khaaska ah ayaa ah kuwo guban kara, qaraxyo, kuwo guba ama sun ah. Haddii nidaamka dhuumaha gaaska si khaldan loo qaabeeyey ama alaabta si khaldan loo doortay, ma aha oo kaliya nadiifinta gaaska loo isticmaalo barta gaaska, laakiin sidoo kale way dhici doontaa. Waxay buuxisay shuruudaha nidaamka, laakiin ma aha ammaan in la isticmaalo oo waxay keeni doontaa wasakh warshadda nadiifka ah, taas oo saameynaysa badbaadada iyo nadaafadda warshadda nadiifka ah.
Dammaanadda tayada gaasta saafiga ah ee barta isticmaalka kuma xirna oo kaliya saxnaanta wax soo saarka gaaska, qalabka nadiifinta iyo filtarrada, laakiin sidoo kale waxaa saameeya arrimo badan oo ka mid ah nidaamka dhuumaha. Haddii aan ku tiirsannahay qalabka wax soo saarka gaaska, qalabka sifaynta iyo filtarrada Si fudud maaha in lagu soo rogo shuruudo sax ah oo aan xad lahayn si loo magdhabo naqshadaynta nidaamka dhuumaha gaaska ee aan habboonayn ama xulashada alaabta.
Inta lagu guda jiro habka naqshadeynta mashruuca 909, waxaan raacnay "Code for Design of Clean Plant" GBJ73-84 (heerka hadda waa (GB50073-2001)), "Code for Design of Air Stations" GBJ29-90, "Code loogu talagalay Nakhshadeynta Saldhigyada Ogsajiinta" GB50030-91 , "Koodhka Nakhshadeynta Saldhigyada Hydrogen iyo Oxygen" GB50177-93, iyo tillaabooyinka farsamada ee ku habboon xulashada qalabka iyo qalabka dhuumaha. "Koodhka Nakhshadeynta Dhirta Nadiifinta ah" wuxuu qeexayaa xulashada alaabta dhuumaha iyo tuubooyinka sida soo socota:
(1) Haddii nadiifnimada gaasta ay ka weyn tahay ama la mid tahay 99.999% oo barta sayaxa ay ka hooseyso -76°C, 00Cr17Ni12Mo2Ti tuubo bir ah oo hooseeya (316L) oo leh gidaar gudaha ah oo korantada ah ama OCr18Ni9 tuubooyinka birta ah (304) gidaarka gudaha ee korantada ka samaysan waa in la isticmaalo. Waalku waa inuu noqdaa waalka diaphragm ama waalka gasha.
(2) Haddii nadiifnimada gaasta ay ka weyn tahay ama la mid tahay 99.99% oo barta sayaxa ay ka hooseyso -60°C, OCr18Ni9 tuubada birta ah (304) ee gidaarka gudaha ee korantada leh waa in la isticmaalaa. Marka laga reebo tuubooyinka gaaska ee loo isticmaalo dhuumaha gaaska guban kara, valves-ka kubbadda waa in loo isticmaalo dhuumaha gaaska kale.
(3) Haddii barta sayaxa hawada qallalan ee qallalan ay ka hooseyso -70°C, OCr18Ni9 tuubada birta ah (304) ee gidaarka gudaha ee dhalaalaysa waa in la isticmaalaa. Haddii barta sayaxa ay ka hooseyso -40℃, OCr18Ni9 tuubada birta ah ee aan fiicnayn (304) ama galvanized galvanized tube bir ah waa in la isticmaalaa. Waalku waa inuu noqdaa waalka gacaliyaha ah ama galka kubbadda.
(4) Alaabta waalka ah waa in ay la jaan qaadaa walxaha tuubada isku xira.
Marka loo eego shuruudaha qeexitaannada iyo tillaabooyinka farsamada ee khuseeya, waxaan inta badan tixgelineynaa dhinacyada soo socda marka la dooranayo qalabka dhuumaha:
(1) Xakamaynta hawada ee alaabta tuubooyinka waa inay ahaataa mid yar. Tubooyinka maaddooyinka kala duwan waxay leeyihiin hawo-mareeno kala duwan. Haddi la doorto tuubooyin leh xajmi badan oo hawo, wasakhowga lama saari karo. Tuubooyinka birta ah iyo tuubooyinka naxaasta ah ayaa ku fiican inay ka hortagaan dhexgalka iyo daxalka ogsijiinta ee jawiga. Si kastaba ha noqotee, maadaama tuubooyinka birta aan la taaban karin ay ka firfircoon yihiin tuubooyinka naxaasta, tuubooyinka naxaasta ah ayaa aad ugu firfircoon inay u oggolaadaan qoyaanka jawiga inuu galo gudaha gudaha. Sidaa darteed, markaad dooranayso tuubooyinka dhuumaha gaaska saafiga ah, tuubooyinka birta ah waa inay noqdaan doorashada koowaad.
(2) Dusha gudaha ee walxaha tuubada waa la isku dhejiyay waxayna saameyn yar ku leedahay falanqaynta gaaska. Ka dib marka la farsameeyo tuubada birta ah, xaddi gaas ah ayaa lagu hayn doonaa shabagga birta ah. Marka gaaska saafiga ah uu dhex maro, qaybtan gaasku waxay geli doontaa socodka hawada waxayna sababi doontaa wasakh. Isla mar ahaantaana, sababtoo ah xayeysiis iyo falanqaynta, birta gudaha gudaha ee tuubada waxay sidoo kale soo saari doontaa qadar go'an oo budo ah, taasoo keenaysa wasakh gaaska saafiga ah ee sarreeya. Nidaamyada tuubooyinka ee nadiifka ah ee ka sarreeya 99.999% ama heerka ppb, 00Cr17Ni12Mo2Ti dhuumaha birta ah ee hooseeya ee kaarboon (316L) waa in la isticmaalaa.
(3) Caabbinta xirashada tuubooyinka birta aan la wadin ayaa ka wanaagsan tan tuubooyinka naxaasta ah, boodhka birta ee ka dhasha nabaad guurka hawadu aad ayuu u yar yahay. Aqoon-is-weydaarsiyada wax-soo-saarka ee leh shuruudaha sare ee nadaafadda waxay isticmaali karaan 00Cr17Ni12Mo2Ti tuubooyinka birta-yar ee kaarboon-yar (316L) ama OCr18Ni9 tuubooyinka birta aan la taaban karin (304), tuubooyinka naxaasta ah waa inaan la isticmaalin.
(4) Nidaamyada tuubooyinka ee leh gaas nadiif ah oo ka sarreeya 99.999% ama ppb ama heerarka ppt, ama qolal nadiif ah oo leh heerarka nadaafadda hawada ee N1-N6 ee lagu qeexay "Xeerka Naqshadaynta Warshada Nadiifinta", tuubooyinka aadka u nadiifka ah amaEP tuubooyinka nadiifka ahwaa in la isticmaalo. Nadiifi "tuubo nadiif ah oo gudaha ah oo aad u jilicsan".
(5) Qaar ka mid ah hababka dhuumaha gaaska gaarka ah ee loo isticmaalo habka wax soo saarka ayaa ah gaas aad u xun. Tuubooyinka ku jira nidaamyadan dhuumaha waa in ay u isticmaalaan tuubooyinka birta ah ee aan daxalka lahayn sida tuubooyinka. Haddii kale, tuubooyinka waxay waxyeeloobi doonaan daxalka awgeed. Haddii meelaha daxalka ahi ay ka dhacaan dusha sare, tuubooyinka birta ah ee caadiga ah ama tuubooyinka birta alxanka ah waa inaan la isticmaalin.
(6) Mabda 'ahaan, dhammaan isku xirka dhuumaha gaaska waa in la alxamaa. Maadaama alxanka tuubooyinka birta galvanized ay burburin doonaan lakabka galvanized, tuubooyinka birta galvanized looma isticmaalo tuubooyinka qolalka nadiifka ah.
Iyadoo la tixgelinayo arrimaha kor ku xusan, tuubooyinka dhuumaha gaaska iyo valves ee lagu doortay &7& mashruuca waa sida soo socota:
Tubooyinka nidaamka Nayroojin-nadiifinta sare leh (PN2) waxay ka samaysan yihiin 00Cr17Ni12Mo2Ti tuubooyinka birta-yar ee kaarboon-yar (316L) oo leh gidaaryo gudaha ah oo korantada ah, iyo valves-yada waxay ka samaysan yihiin alwaaxyo bir ah oo bir ah oo isku mid ah.
Tuubooyinka Nitrojiin (N2) waxa ay ka samaysan yihiin 00Cr17Ni12Mo2Ti tuubooyinka birta-yar ee kaarboon-yar (316L) oo leh gidaaryo gudaha ah oo korantada ah, tuubooyinkana waxa ay ka samaysan yihiin alwaaxyo bir ah oo bir ah oo isku mid ah.
Tubooyinka nidaamka nadiifinta sare ee hydrogen (PH2) waxay ka samaysan yihiin 00Cr17Ni12Mo2Ti tuubooyinka birta-yar ee kaarboon-yar (316L) oo leh gidaaryo gudaha ah oo korantada ah, iyo valves-yada waxay ka samaysan yihiin alwaaxyo bir ah oo bir ah oo isku mid ah.
Tuubooyinka nidaamka PO2 ee nadiifka ah ee nadiifka ah waxay ka samaysan yihiin 00Cr17Ni12Mo2Ti tuubooyinka birta-yar ee kaarboon-yar (316L) oo leh gidaaryo gudaha ah oo koronto-dhal ah, iyo valves-yada waxay ka samaysan yihiin alwaaxyo bir ah oo bir ah oo isku mid ah.
Tuubooyinka nidaamka Argon (Ar) waxa ay ka samaysan yihiin 00Cr17Ni12Mo2Ti tuubooyinka birta-yar ee kaarboon-yar (316L) oo leh gidaaryo gudaha ah oo korantada ah, iyo birta birta ah ee alwaaxyada ah ee isku midka ah ayaa la isticmaalaa.
Tuubooyinka nidaamka helium (He) waxa ay ka samaysan yihiin 00Cr17Ni12Mo2Ti tuubooyinka birta ah ee hooseeya ee kaarboon-yar (316L) oo leh gidaaryo gudaha ah oo korantada ah, iyo valves-yada waxa ay ka samaysan yihiin alwaaxyo bir ah oo bir ah oo isku mid ah.
Tubooyinka nidaamka hawo qallalan ee nadiifka ah (CDA) waxay ka samaysan yihiin OCr18Ni9 tuubooyinka birta ah (304) oo leh gidaaryo gudaha ah oo qurxin leh.
Tuubooyinka habka neefsashada ee cadaadiska ah (BA) waxay ka samaysan yihiin OCr18Ni9 tuubooyinka birta ah (304) oo leh gidaaryo gudaha ah oo dhalaalaya, iyo valves-yada waxay ka samaysan yihiin valves kubbadda birta ah oo isku mid ah.
Tuubooyinka nidaamka vacuum (PV) waxay ka samaysan yihiin tuubooyinka UPVC, iyo valves-yada waxay ka samaysan yihiin faakuum balabaalista valves oo ka samaysan walxo isku mid ah.
Tuubooyinka nidaamka nadiifinta vacuum (HV) waxay ka samaysan yihiin tuubooyinka UPVC, iyo valves-yada waxay ka samaysan yihiin balaaliyeyaasha faakuumka ee ka samaysan shay isku mid ah.
Tuubooyinka nidaamka gaasta gaarka ah ayaa dhamaantood laga sameeyay 00Cr17Ni12Mo2Ti tuubooyinka birta aan kaarboon-yar ee yar-yar (316L) oo leh gidaaryo gudaha ah oo korantada ah, tuubooyinkana waxa ay ka samaysan yihiin alwaaxyo bir ah oo bir ah oo isku mid ah.
3 Dhismaha iyo rakibidda dhuumaha
3.1 Qaybta 8.3 ee "Xeerka Naqshadeynta Dhismaha Warshada nadiifka ah" waxay qeexaysaa qodobada soo socda ee isku xirka dhuumaha:
(1) Xidhiidhada tuubooyinka waa in la isku dhuftaa, laakiin tuubooyinka birta ah ee kulul ee kululaynta waa in la isku dhejiyaa.
(2) Tuubooyinka birta ah waa in lagu xidhaa alxanka argon arc iyo alxanka dabada ama alxanka godka, laakiin dhuumaha gaaska saafiga ah waa in lagu xidhaa alxanka dabada iyada oo aan calaamaduhu ku jirin gidaarka gudaha.
(3) Xidhiidhka u dhexeeya dhuumaha iyo qalabku waa inay u hoggaansamaan shuruudaha isku xirka qalabka.Marka la isticmaalayo isku xirka tuubooyinka, tuubooyinka birta ah waa in la isticmaalo
(4) Xidhiidhka u dhexeeya dhuumaha iyo tuubooyinka waa in ay raacaan xeerarka soo socda
① Qalabka wax lagu xiro ee isku xira dhuumaha gaaska saafiga ah ee sarreeya iyo valves waa in ay isticmaalaan gaasaska birta ah ama laba jibbaaran sida waafaqsan shuruudaha habka wax soo saarka iyo sifooyinka gaaska.
②Waxyaabaha lagu xidho ee ku yaala dunta ama isku xirka flange waa inay ahaadaan polytetrafluoroethylene.
3.2 Marka loo eego shuruudaha qeexitaannada iyo tillaabooyinka farsamada ee ku habboon, isku xirka dhuumaha gaaska saafiga ah waa in la isku xiraa intii suurtagal ah. Alxanka dabada tooska ah waa in laga fogaadaa xilliga alxanka. Gacmaha tuubada ama kala-goysyada la dhammeeyay waa in la isticmaalaa. Gacmaha tuubooyinka waa in laga sameeyaa shay isku mid ah iyo hufnaanta dusha gudaha sida tuubooyinka. heerka, inta lagu jiro alxanka, si looga hortago oksidation ee qaybta alxanka, gaas saafi ah ilaalinta waa in la geliyaa tuubada alxanka. Tuubooyinka birta ah, alxanka argon waa in la isticmaalaa, iyo gaaska argon ee nadiifka ah waa in la soo geliyo tuubada. Xidhiidhka dunta leh waa in la isticmaalo Marka la isku xidho flanges, ferrules waa in loo isticmaalo isku xirka dunta. Marka laga reebo tuubooyinka oksijiinta iyo tuubooyinka hydrogen, kuwaas oo isticmaalaya gaasaska birta ah, tuubooyinka kale waa inay isticmaalaan gaasaska polytetrafluoroethylene. Codsashada qadar yar oo caag silikoon ah gaasaska sidoo kale waxay noqon doontaa mid waxtar leh. Kordhi saamaynta xidhidhiyaha Tallaabooyin la mid ah waa in la qaadaa marka la sameeyo isku xirka flange.
Ka hor inta aan la bilaabin shaqada rakibidda, kormeer muuqaal ah oo faahfaahsan oo tuubooyinka,qalabaynta, valves, iwm waa in la sameeyaa. Derbiga gudaha ee tuubooyinka birta aan caadiga ahayn waa in la qaado ka hor inta aan la rakibin. Tuubooyinka, qalabka wax lagu xidho, valves, iwm ee dhuumaha ogsijiinta waa in si adag looga mamnuucaa saliidda, waana in si adag loo gooyaa iyadoo loo eegayo shuruudaha khuseeya ka hor inta aan la rakibin.
Ka hor inta aan nidaamka la rakibin oo aan la isticmaalin, habka gudbinta iyo qaybinta dhuumaha dhuumaha waa in si buuxda loo nadiifiyaa gaaska saafiga ah ee la keenay. Tani ma aha oo kaliya in ay burburiso qaybaha boodhka ee si lama filaan ah ugu dhacay nidaamka inta lagu jiro habka rakibidda, laakiin sidoo kale waxay door ka ciyaaraan doorka qalajinta nidaamka dhuumaha, ka saara qayb ka mid ah gaaska qoyaanka ku jira ee uu nuugo derbiga tuubada iyo xitaa alaabta tuubada.
4. Tijaabada cadaadiska dhuumaha iyo aqbalaadda
(1) Ka dib marka nidaamka la rakibo, 100% kormeerka shucaaca ee tuubooyinka qaada dareeraha sunta ah ee dhuumaha gaaska gaarka ah waa in la sameeyaa, tayadoodana waa in aanay ka hooseynin Heerka II. Tuubooyinka kale waa in lagu qaadaa muunad baadhitaan shucaac ah, saamiga shaybaadhku waa in aanu ka yarayn 5 %, tayaduna waa in aanu ka hoosayn fasalka III.
(2) Kadib gudbinta kormeerka aan burburin, tijaabada cadaadiska waa in la sameeyaa. Si loo hubiyo qallaylka iyo nadaafadda nidaamka tuubooyinka, waa in aan la samayn tijaabada cadaadiska biyaha, laakiin waa in la isticmaalo tijaabada cadaadiska pneumatic. Tijaabada cadaadiska hawada waa in lagu fuliyaa iyadoo la isticmaalayo nitrogen ama hawo cadaadis leh oo u dhigma heerka nadaafadda qolka nadiifka ah. Cadaadiska tijaabada dhuumaha waa inuu noqdaa 1.15 jeer cadaadiska naqshadeynta, cadaadiska tijaabada tuubada faakuumka waa inuu noqdaa 0.2MPa. Inta lagu jiro baaritaanka, cadaadiska waa in si tartiib tartiib ah oo tartiib tartiib ah loo kordhiyo. Marka cadaadiska uu kor u kaco ilaa 50% cadaadiska tijaabada, haddii aan la helin cillad aan caadi ahayn ama dheecaan, sii wad inaad kordhiso cadaadiska tallaabo tallaabo 10% cadaadiska tijaabada, oo deji cadaadiska 3 daqiiqo heer kasta ilaa cadaadiska tijaabada . Deji cadaadiska 10 daqiiqo, ka dibna yaree cadaadiska cadaadiska naqshadeynta. Waqtiga joogsiga cadaadiska waa in lagu go'aamiyaa iyadoo loo eegayo baahida ogaanshaha daadinta. Wakiilka xumbaynta ayaa u qalma haddii aysan jirin wax daadasho ah.
(3) Ka dib marka nidaamka faakuumku ka gudbo tijaabada cadaadiska, waa inuu sidoo kale sameeyaa tijaabada shahaadada 24-saac ee vacuum sida ku cad dukumentiyada naqshadeynta, iyo heerka cadaadisku waa inuusan ka badnaan 5%.
(4) Tijaabada daadinta. Nidaamyada dhuumaha fasallada ppb iyo ppt, marka loo eego qeexitaannada la xiriira, wax daadasho ah waa in loo tixgeliyo mid u qalma, laakiin tijaabada qaddarka daadinta waxaa la isticmaalaa inta lagu jiro naqshadeynta, taas oo ah, tijaabada qaddarka daadinta waxaa la sameeyaa ka dib baaritaanka cidhiidhiga hawada. Cadaadisku waa cadaadiska shaqada, cadaadiskuna waa la joojiyaa 24 saacadood. Celceliska daadinta saacaddii ayaa ka yar ama la mid ah 50ppm sida loogu qalmo. Xisaabinta daadku waa sida soo socota:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Qaaciddada:
daadinta saacada (%)
P1-cadaadiska saxda ah ee bilowga tijaabada (Pa)
P2-cadaadiska saxda ah ee dhamaadka tijaabada (Pa)
Heerkulka T1 ee bilowga ah ee tijaabada (K)
Heerkulka T2 ee dhamaadka imtixaanka (K)
Waqtiga boostada: Dec-12-2023